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青島車間凈化的氣流速度/通風(fēng)次數(shù)一直是車間凈化設(shè)計中關(guān)注的問題。隨著青島車間凈化污染源控制效果的提高和末級過濾器效率的提高,關(guān)于相關(guān)規(guī)范和指南提出的推薦或參考值是否保守已經(jīng)有很多討論。在實踐中,解決了FFU在應(yīng)用中擔(dān)心的噪音、損壞和維護(hù)問題。隨著FFU的不斷改進(jìn),是否使用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是一個熱點:懸浮分子污染(AMC)微電子和IC行業(yè)的控制日益提及日程,備受關(guān)注。下面分別對這些問題進(jìn)行了歸納和分析。
在青島車間凈化的一定潔凈度下,氣流速度的確定因青島車間凈化的使用等具體情況而異。它不僅受到室內(nèi)灰塵量和過濾效率的影響,還受到其他因素的影響。就工業(yè)青島車間凈化而言,影響潔凈度和選擇氣流速度的主要因素如下:
(1)室內(nèi)污染源:建筑組件、人員數(shù)量、操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料、工藝加工本身等。都是塵粒釋放源,根據(jù)具體情況而異,變化很大;
(2)室內(nèi)氣流類型和分布:單向流需要均勻平等的流線,但會受到工藝設(shè)備布局、位置變化、人員活動等的干擾,形成局部渦流;而不是單向流,需要充電和混合,避免死角和溫度分層;
(3)自清潔時間(恢復(fù)時間)的控制要求:清潔室事故釋放或帶入污染物或空氣氣流中斷或正常操作時間歇性對流氣流或人和設(shè)備的運(yùn)動會導(dǎo)致清潔度惡化,恢復(fù)到原來清潔度的自清潔時間取決于氣流速度;自清潔時間的控制要求取決于這個時間框架(在惡化的清潔度下)對產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量和成品率的承受能力;