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根據(jù)光學器件制做工藝的特殊要求,需要在超凈室中實驗進行工作。醫(yī)療器械超凈室內可以進行涂膠、光刻、蒸發(fā)鍍膜及鍵合,清洗、烘干、電鍍、腐蝕、擴散及研磨等。
超凈室各項功能的配備均以滿足各項工藝要求為前提,它具備以下特點:
(1) 在潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)隔離口設有“TJ —1”型單人定時冷熱風淋室,它是工作人員進入超凈室的凈化關口。
(2) 在非潔凈區(qū)設有更衣室,操作人員更換防靜電潔凈服后才可進入超凈室。
(3) 設有室內對外器件、物品傳遞窗。
(4) 室內面積達24m2 ,其工作潔凈度達1000 級,在局部2m2 的光刻工藝區(qū)、凈化工作臺以及凈化涂膠機,工作潔凈度達100 級。
(5) 室內用于顯影及清洗器件的高純水,是由設在室外的潔凈水循環(huán)系統(tǒng)引入,該系統(tǒng)以去離子水為原水,經(jīng)精密過濾、紫外線殺菌及離子交換,極大提高了水質純度,其輸出水質電阻率≥15MΩ。
(6) 在工作人員健康保障方面,超凈室設有空調、凈化排風系統(tǒng)。涂膠臺及電鍍腐蝕工作臺設置了對外排風系統(tǒng),從而也降低了環(huán)境污染??照{系統(tǒng)保障了室內濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃—25 ℃。室內循環(huán)凈化送風系統(tǒng)以及光刻工作區(qū)層流罩循環(huán)凈化系統(tǒng)為室內潔凈度提供了保障。